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BLMFS5線性馬達相較於傳統線性馬達而言，可提供更高的

產能與薄型設計。此設計是經由專利的生產製程與層壓之

鐵心以達到此更高推力。BLMFS5應用鋼材於動子線圈內，国内直线电机，

可提供在有限的動子長度提供更大的推力。因此，BLMFS5

適合使用於高速點對點運動，直线电机，而磁吸力更能使用於軸承預

載(p-load)。

“切片”（栅状扫描）命令将扫描与步进融合为具有特定

轮廓的运动来提高扫描产能

本系统包含气浮轴

承平台和双轴激光

干涉仪反馈功能，同步直线电机，

可提供亚纳米级分

辨率。

Aerotech 拥有多种中空平台配置，包括

非常适用于光学晶片检查应用的空气

轴承和机械轴承系统。

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非常适用于光学晶片检查应用的空气

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